Entegris 過(guò)濾器

 美國(guó)Entegris英特格通風(fēng)式擴(kuò)散器WG3D25LR2
  • 美國(guó)Entegris英特格通風(fēng)式擴(kuò)散器WG3D25LR2

  •  美國(guó)Entegris英特格通風(fēng)式擴(kuò)散器WG3D25LR2
    通過(guò)減少負(fù)載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時(shí)間來(lái)提高效率和吞吐量。

    獲得專利的燒結(jié)鎳技術(shù)在所有應(yīng)用中都能提供卓越的性能
    設(shè)計(jì)能夠從大于 0.0015 μm 的進(jìn)入氣體中去除顆粒,從而最大限度地減少晶圓缺陷
    提供快速排氣,而不會(huì)干擾晶圓或向晶圓添加顆粒,從而縮短循環(huán)時(shí)間,同時(shí)提高吞吐量
    將擴(kuò)散器的流動(dòng)特性與高效過(guò)濾器相結(jié)合,以提高效率和吞吐量
    輕松改裝/安裝到現(xiàn)有工具中,最大限度地減少停機(jī)時(shí)間
    應(yīng)用Chambergard? 快速通風(fēng)擴(kuò)散器應(yīng)用
    • 向大氣提供快速氣體排放,而不會(huì)干擾或向腔室中的晶圓添加顆粒

    規(guī)格

    產(chǎn)品規(guī)格
    材料 擴(kuò)散器元件:獲得專利的燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
    ? 外殼:316L不銹鋼
    ? 內(nèi)部表面光潔度:≤32 μin Ra
    性能 下游清潔度:清潔度小于 0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/英尺3) 額定流量時(shí)大于 0.01 μm
    ? 去除等級(jí):≥0.0015 μm
    ? 可靠性:在 25°C (77°F) 的最大額定入口壓力下具有 100,000 次循環(huán)可靠性
    連接 請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表
    作條件 請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表
    參考資料產(chǎn)品文檔
    發(fā)表于 2023 年 11 月 1 日數(shù)據(jù)表Chambergard? 快速通風(fēng)擴(kuò)散器
    ?
    下載PDF413.1 千兆貝
    部件號(hào)
    Chambergard? 快速通風(fēng)擴(kuò)散器部件號(hào)
    部件號(hào) O 形圈尺寸 O 形圈槽外徑 出口連接類型 O 形圈凹槽 ID O 形圈凹槽深度 作條件,最大入口壓力,出口真空 工作條件,最大壓差 工作條件,最高工作溫度 入口連接類型
    SI2P134R5 沒(méi)有 沒(méi)有 在線 沒(méi)有 沒(méi)有 0.5 MPa (75 psi) 0.24 MPa (35 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D16TR2 2-117 26.4 毫米(1.03 英寸) ISO NW-16,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 20.3 毫米(0.79 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D228R2 2-117 26.4 毫米(1.03 英寸) ISO NW-16,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 20.3 毫米(0.79 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公頭或母頭墊片密封接頭或?qū)附宇^
    WG3D25LR2 2-123 35.9 毫米(1.41 英寸) ISO NW-25,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 29.8 毫米(1.17 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D25SR2 2-123 35.9 毫米(1.41 英寸) ISO NW-25,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 29.8 毫米(1.17 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D3LBW2 沒(méi)有 沒(méi)有 沒(méi)有 沒(méi)有 沒(méi)有 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 20 mm 對(duì)焊管短管
    WG3D401R2 2-246 114.3 毫米(4.50 英寸) ISO NW-100,螺栓貫通 122.4 毫米(4.81) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.25 MPa (35 psi) 0.35 MPa (50 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D40DR2 2-224 52.1 毫米(2.05 英寸) ISO NW-40,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 44 毫米(1.73 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.3 MPa (45 psi) 0.4 MPa (60 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D40TR2 2-224 52.1 毫米(2.05 英寸) ISO NW-40,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 44 毫米(1.73 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    WG3D50DR2 2-229 67.9 毫米(2.67 英寸) ISO NW-50,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝 59.9 毫米(2.35 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.2 MPa (30 psi) 0.3 MPa (45 psi) 100° C (212° F) 帶 O 形圈,400° C (752° F) 不帶 O 形圈 1/4“ VCR? 兼容公墊片密封接頭
    部件號(hào) WG3D401R2 包括連接器套件;P71917 螺栓和墊圈
    LOGO

    +86 138-6184-0733+86 138-6184-0733

    無(wú)錫市錫山區(qū)安鎮(zhèn)街道山河路50號(hào)浙大網(wǎng)新科創(chuàng)園41-2102無(wú)錫市錫山區(qū)安鎮(zhèn)街道山河路50號(hào)浙大網(wǎng)新科創(chuàng)園41-2102

    2885096712@qq.com2885096712@qq.com

    微信二維碼

    Copyright © 2012 honunsxun.com All Rights Reserved 遠(yuǎn)為國(guó)際貿(mào)易(無(wú)錫)有限公司 版權(quán)所有

    網(wǎng)站ICP備案號(hào):蘇ICP備19066682號(hào)