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Entegris 過濾器

Microgard? Plus/Plus LE/LE 尼龍過濾器
  • Microgard? Plus/Plus LE/LE 尼龍過濾器

  • 清潔、基于溶劑的散裝光化學(xué)過濾器,具有高流速性能和污染物保留能力。

    應(yīng)用

    Microgard? Plus/Plus LE/LE 尼龍過濾器應(yīng)用

    • 行業(yè):半導(dǎo)體、化學(xué)制造、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?
    • 工藝:光刻、設(shè)備、濕法蝕刻和清潔、介質(zhì)?
    • 潤(rùn)滑油、化學(xué)品制造?
    • 化學(xué):光刻膠、光化學(xué)品、溶劑?
    • 安裝點(diǎn):散裝?

    產(chǎn)品規(guī)格

    ? ? PLUS/PLUS LE LE 尼龍
    材料 疏水性UPE 聚酰胺(尼龍 6)
    ? 膜面積 4 英寸 UPX: 10 nm: 9200 cm2 (9.9 平方英尺)
    其他: 8000 cm2 (8.6 平方英尺)
    ?
    ? ? 10 英寸 10 納米:13,200 厘米2(14.21 平方英尺)
    20 納米:12,000 厘米2(12.9 平方英尺)
    其他:8000 厘米2(8.6 平方英尺)
    10”:7000 厘米2(7.5 平方英尺)
    ? ? 20 英寸 20 nm:24,000 厘米2(25.8 平方英尺)
    其他:20,000 厘米2(21.5 平方英尺)
    20 英寸:14,000 厘米2(15.1 平方英尺)
    ? ? 30 英寸 30,000 厘米2(32.3 平方英尺) ?
    ? ? 10" 不對(duì)稱 11,600 厘米2 (12.5 平方英尺) ?
    ? ? 20" 不對(duì)稱 23,200 厘米2 (25 平方英尺) ?
    ? 支撐、芯套 高密度聚乙烯 高密度聚乙烯
    ? O 形密封圈 EPDM 和 E-FKM 氟橡膠
    留存率 ? 3、5、10納米 10、20納米
    工作條件 最大正向壓差: 0.34 兆帕(3.4 巴、50 磅/平方英寸、3.5 千克/厘米2)@ 20°C(68°F) 0.28 兆帕(2.8 巴、41 psid、2.9 千克/厘米2)@ 20°C (68°F)
    ? 最大反向壓差: 0.24 兆帕(2.4 巴、35 磅/平方英寸、2.5 千克/厘米2)@ 20°C(68°F) 0.21 兆帕(2.1 巴、31 psid、2.2 千克/厘米2)@ 20°C(68°F)
    ? 工作溫度 60°C(140°F) 50°C(122°F)
    ? ? LE 尼龍
    材料 聚酰胺
    ? 支撐、芯套 高密度聚乙烯
    ? Chemlock 鑰匙 肺動(dòng)脈高壓
    ? O 形密封圈 氟橡膠
    篩選器類型 不對(duì)稱 ?
    膜面積 10 納米、20 納米、0.05 微米(70 毫米) ?
    ? 10”:0.71 平方米 ?
    ? 20”:1.42 平方米 ?
    ? 30”:2.13 平方米 ?
    ? 10 納米,20 納米(83 毫米) ?
    ? 10 英寸 1.31 平方米 ?
    留存率 10 納米、20 納米、0.05 微米 ?
    工作條件 最大正向壓差: 0.28 兆帕 @ 25°C (77°F)
    ? 最大反向壓差: 0.21 兆帕 @ 25°C (77°F)
    ? 工作溫度 60°C(140°F)

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