產(chǎn)品規(guī)格
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材料
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過濾膜
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已獲專利的燒結(jié)鎳
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住房
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電拋光 F20 不銹鋼
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下游清潔度
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粒子*
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<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/立方英尺) >0.01 微米
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揮發(fā)物**
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H2O、O2和THC的揮發(fā)性排氣低于可檢測限度（室溫下通過 RGA 和 FID 測定）
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移除評級
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≥0.0015 微米
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內(nèi)部表面處理
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≤5 微英寸 Ra
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氦氣泄漏率
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合格的
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2x10 -10? atm cc/秒
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已測試
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1x10 -9? atm cc/秒
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最大工作條件
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最大入口壓力：
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70 巴（1000 psi）@ 100°C（212°F）
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最大正向/反向壓差：
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10 巴（150 磅/平方英寸）
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最高工作溫度
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惰性氣體
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35 bar (500 psi) 時溫度為 400°C (752°F)
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腐蝕性和活性氣體
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70 bar (1000 psi) 時 50°C (122°F)
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保修單
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5年
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顆粒保留
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在 30 slpm 下，所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
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在 75 slpm 下去除所有顆粒的效率超過 99.9999%（參考最具穿透力的顆粒大小）
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流速
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參考流量曲線
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*顆粒潔凈度符合 SEMASPEC 顆粒脫落測試方法 (#93021511A-STD) 的要求
**揮發(fā)性物質(zhì)潔凈度符合 SEMASPEC 測試方法的要求：THC 貢獻 (#90120396B-STD)、水分貢獻 (#90120397B-STD)、氧氣貢獻 (#90120398B-STD)