Wafergard? III NF-30 在線氣體過濾器應(yīng)用
注意：不建議與 CO、O?3和低濃度氫化物摻雜氣體一起使用。
產(chǎn)品規(guī)格
| 材料 |
過濾膜 |
已獲專利的燒結(jié)鎳 |
| ? |
住房 |
電拋光 F20 不銹鋼 |
| 下游清潔度 |
粒子* |
<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/立方英尺)?>0.01 微米 |
| ? |
揮發(fā)物** |
H2O、O2和THC的揮發(fā)性排氣低于可檢測限度（室溫下通過 RGA 和 FID 測定） |
| 移除評級 |
≥0.0015 微米 |
? |
| 內(nèi)部表面處理 |
≤5 微英寸 Ra |
? |
| 氦氣泄漏率 |
合格的 |
2x10?-10??atm cc/秒 |
| ? |
已測試 |
1x10?-9??atm cc/秒 |
| 最大工作條件 |
最大入口壓力： |
70 巴（1000 psi）@ 100°C（212°F） |
| 最大正向/反向壓差： |
10 巴（150 磅/平方英寸） |
| 最高工作溫度 |
惰性氣體 |
35 bar (500 psi) 時溫度為 400°C (752°F) |
| 腐蝕性和活性氣體 |
70 bar (1000 psi) 時 50°C (122°F) |
| 保修單 |
5年 |
? |
| 顆粒保留 |
在 30 slpm 下，所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV) |
| ? |
在 75 slpm 下去除所有顆粒的效率超過 99.9999%（參考最具穿透力的顆粒大小） |
| 流速 |
參考流量曲線 |
? |
*顆粒潔凈度符合 SEMASPEC 顆粒脫落測試方法 (#93021511A-STD) 的要求
**揮發(fā)性物質(zhì)潔凈度符合 SEMASPEC 測試方法的要求：THC 貢獻 (#90120396B-STD)、水分貢獻 (#90120397B-STD)、氧氣貢獻 (#90120398B-STD)
?