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Entegris 過濾器

Chambergard? 快速通風(fēng)擴(kuò)散器
  • Chambergard? 快速通風(fēng)擴(kuò)散器

  • Chambergard 快速排氣擴(kuò)散器通過減少負(fù)載鎖和傳送室中的顆粒并減少排氣時(shí)間來提高效率和吞吐量。

    獲得專利的燒結(jié)鎳技術(shù)在各種應(yīng)用中提供卓越的性能
    從氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒,以最大限度地減少晶圓缺陷
    快速排氣,不會(huì)揚(yáng)起顆?;蛟诰A上沉積顆粒,從而提高產(chǎn)量并縮短周期時(shí)間
    擴(kuò)散器流量特性與高性能過濾器相結(jié)合提高了效率和吞吐量
    通過引入現(xiàn)有設(shè)備和改造來減少停機(jī)時(shí)間

    型號(hào)
    Chambergard? 快速通風(fēng)擴(kuò)散器型號(hào)
    型號(hào)?? ?O 型圈尺寸?? ?O型圈槽外徑?? ?出口側(cè)連接方式?? ?O型圈槽內(nèi)徑?? ?O 型圈凹槽深度?? ?工作條件:最大入口壓力(出口真空時(shí))?? ?使用條件:最大允許壓差?? ?使用條件:最高工作溫度?? ?入口側(cè)連接方式
    SI2P134R5?? ?沒有任何?? ?沒有任何?? ?排隊(duì)?? ?沒有任何?? ?沒有任何?? ?0.5 兆帕(75 磅/平方英寸)?? ?0.24 兆帕(35 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D16TR2?? ?2-117?? ?26.4 毫米(1.03 英寸)?? ?ISO NW-16,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝?? ?20.3 毫米(0.79 英寸)?? ?1.9 毫米(0.07 英寸)?? ?0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)?? ?0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D228R2?? ?2-117?? ?26.4 毫米(1.03 英寸)?? ?ISO NW-16,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝?? ?20.3 毫米(0.79 英寸)?? ?1.9 毫米(0.07 英寸)?? ?0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)?? ?0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容公/母墊圈密封接頭或?qū)附宇^
    WG3D25LR2?? ?2-123?? ?35.9 毫米(1.41 英寸)?? ?ISO NW-25,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝?? ?29.8 毫米(1.17 英寸)?? ?1.9 毫米(0.07 英寸)?? ?0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)?? ?0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D25SR2?? ?2-123?? ?35.9 毫米(1.41 英寸)?? ?ISO NW-25,與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾兼容的隔板安裝?? ?29.8 毫米(1.17 英寸)?? ?1.9 毫米(0.07 英寸)?? ?0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)?? ?0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D3LBW2?? ?沒有任何?? ?沒有任何?? ?沒有任何?? ?沒有任何?? ?沒有任何?? ?0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)?? ?0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?20 毫米對(duì)焊管延長(zhǎng)管
    WG3D401R2?? ?2-246?? ?114.3 毫米(4.50 英寸)?? ?ISO NW-100,螺栓連接?? ?122.4 毫米(4.81 英寸)?? ?2.6 毫米(0.10 英寸)?? ?0.25 兆帕(35 磅/平方英寸)?? ?0.35 兆帕(50 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D40DR2?? ?2-224?? ?52.1 毫米(2.05 英寸)?? ?ISO NW-40,隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾具兼容?? ?44 毫米(1.73 英寸)?? ?2.6 毫米(0.10 英寸)?? ?0.3 兆帕(45 磅/平方英寸)?? ?0.4 兆帕(60 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D40TR2?? ?2-224?? ?52.1 毫米(2.05 英寸)?? ?ISO NW-40,隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾具兼容?? ?44 毫米(1.73 英寸)?? ?2.6 毫米(0.10 英寸)?? ?0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)?? ?0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭
    WG3D50DR2?? ?2-229?? ?67.9 毫米(2.67 英寸)?? ?ISO NW-50,隔板安裝與標(biāo)準(zhǔn) ISO 隔板夾具兼容?? ?59.9 毫米(2.35 英寸)?? ?2.6 毫米(0.10 英寸)?? ?0.2 兆帕(30 磅/平方英寸)?? ?0.3 兆帕(45 磅/平方英寸)?? ?帶 O 形圈 100°C,不帶 O 形圈 400°C?? ?6.35 mm (1/4") VCR? 兼容外螺紋墊片密封接頭

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