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Entegris 過(guò)濾器

Wafergard? II F 微型在線氣體過(guò)濾器
  • Wafergard? II F 微型在線氣體過(guò)濾器

  • Wafergard? II F 微型在線氣體過(guò)濾器可在高純度氣體系統(tǒng)中提供顆粒去除性能。 該過(guò)濾器非常適合惰性和反應(yīng)性氣體,可用于所有等級(jí)的半導(dǎo)體工藝氣體。 纖細(xì)的機(jī)身直徑使其可以安裝在空間有限的燃?xì)饷姘搴蜋还裰小?nbsp;

    使用 PTFE 膜提高過(guò)濾性能
    低壓降意味著低蒸氣壓氣體的冷凝風(fēng)險(xiǎn)較小
    可與所有等級(jí)的半導(dǎo)體工藝氣體一起使用
    與惰性氣體和高反應(yīng)性氣體(例如臭氧)兼容

    型號(hào)

    Wafergard? II F 微型在線氣體過(guò)濾器型號(hào)
    型號(hào) 配件尺寸和類型 長(zhǎng)度 應(yīng)用
    WG2FT1BW2 6.35 毫米(1/4 英寸)對(duì)焊管 89.9 毫米(3.54 英寸) 半導(dǎo)體
    WG2FT1RF2 入口 6.35 mm (1/4") 墊圈密封(兼容 VCR? 接頭)公頭,出口相同母頭 88.9 毫米(3.50 英寸) 半導(dǎo)體
    WG2FT1RR2 入口/出口 6.35 mm (1/4") 墊圈密封(兼容 VCR 接頭)外螺紋 84.1 毫米(3.31 英寸) 半導(dǎo)體
    WG2FT1RR2L 入口/出口 6.35 mm (1/4") 墊圈密封(兼容 VCR 接頭)外螺紋 84.1 毫米(3.31 英寸) 生命科學(xué)
    WG2FT1SS2 6.35 mm (1/4") 壓縮密封件(與世偉洛克接頭兼容) 73.7 毫米(2.90 英寸) 半導(dǎo)體
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