ATV1000全鐵氟龍節(jié)流閥
ATV1000全聚四氟乙烯節(jié)流閥用于控制真空室中的壓力。
ATV1000 全特氟龍（節(jié)流閥）設(shè)計與 GPC3000（自動壓力控制器）兼容。
特別是，其特征在于其為POCL液體，被廣泛用作半導(dǎo)體工藝制造設(shè)備的排出裝置。
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特點與優(yōu)勢
■??ATV1000全鐵氟龍（節(jié)流閥）采用微步進電機和直接齒輪驅(qū)動器，提高閥門的分辨率。
可半永久性使用。
■?ATV1000全鐵氟龍（節(jié)流閥）可與貴公司提供的GPC3000控制器連接使用，也可連接使用其他公司產(chǎn)品的控制器。?
■?ATV1000全聚四氟乙烯（節(jié)流閥）采用聚四氟乙烯材料制成，專用于防污染。?
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產(chǎn)品?
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規(guī)格
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速度（打開到關(guān)閉）
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2.0秒?
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解決
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1/24000?
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驅(qū)動方式
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直接齒輪傳動?
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閥門電機環(huán)境
工作溫度
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-20 至 +40?
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不同的壓力
跨閥
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1 個大氣壓。最大 (15psig)?
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軸封處外部泄漏
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1x10-8 秒/秒 He?
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暴露于工藝中的材料
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聚四氟乙烯、聚醚醚酮、氟橡膠
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兼容控制器
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型號GPC3000
MKS 651、1651 型?
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尺寸
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i英寸特氟龍連接?
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全閉漏（100mmH2O）
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?3升/分鐘
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