EG301增強(qiáng)型對(duì)流計(jì)
一般安裝在真空室內(nèi)，是讀取真空室內(nèi)實(shí)際壓力的儀表，需要+24 VDC（也可以是15 VDC）電源。
EG301增強(qiáng)型對(duì)流真空計(jì)具有3~10 VDC信號(hào)輸出，用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。
?
特點(diǎn)與優(yōu)勢
■?可進(jìn)行多種壓力測量（2.0 X 10-4 至760 Torr）。
■高精度并提高占地面積。?
■提供模擬量輸出，可直接連接PLC等設(shè)備進(jìn)行顯示。?
■采用7段LED，可遠(yuǎn)距離讀取。?
■可使用RS-485 控制PC。?
■提供兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)供外部設(shè)備和過程使用。?
■維修成本低（更換傳感器線）。?
■可單獨(dú)使用，無需控制器。?
?
產(chǎn)品
?
方面
?
規(guī)格
?
|
身體的
|
|
輸入功率
|
+24 VDC（可能為 15 VDC）
|
|
輸出功率
|
+3 伏直流至 10 伏直流
|
|
工作溫度?
|
0～50℃
|
|
壓力范圍
|
2.0×10?-4??~ 760 托
|
|
展示窗
|
7段LED
|
|
顯示單元
|
托爾
|
|
安裝位置
|
水平的
|
|
燈絲
|
鉑金 99.999%
|
|
法蘭
|
NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF、1/4 VCR 內(nèi)螺紋、CF 法蘭
|
|
界面
|
模擬輸出，RS-485，2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)
|