EG301增強型對流計
一般安裝在真空室內(nèi)，是讀取真空室內(nèi)實際壓力的儀表，需要+24 VDC（也可以是15 VDC）電源。
EG301增強型對流真空計具有3~10 VDC信號輸出，用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。
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特點與優(yōu)勢
■?可進行多種壓力測量（2.0 X 10-4 至760 Torr）。
■高精度并提高占地面積。?
■提供模擬量輸出，可直接連接PLC等設(shè)備進行顯示。?
■采用7段LED，可遠距離讀取。?
■可使用RS-485 控制PC。?
■提供兩個設(shè)定點供外部設(shè)備和過程使用。?
■維修成本低（更換傳感器線）。?
■可單獨使用，無需控制器。?
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產(chǎn)品
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方面
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規(guī)格
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身體的
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輸入功率
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+24 VDC（可能為 15 VDC）
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輸出功率
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+3 伏直流至 10 伏直流
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工作溫度?
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0～50℃
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壓力范圍
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2.0×10?-4??~ 760 托
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展示窗
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7段LED
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顯示單元
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托爾
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安裝位置
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水平的
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燈絲
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鉑金 99.999%
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法蘭
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NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF、1/4 VCR 內(nèi)螺紋、CF 法蘭
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界面
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模擬輸出，RS-485，2 個設(shè)定點
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