AFC500/AFC600 質(zhì)量流量控制器
AFC500/AFC600 質(zhì)量流量控制器可控制氣體的質(zhì)量流量并根據(jù)給定的設(shè)定點控制流量。控制范圍為滿量程的 2% 至 100%，精度為滿量程的 +/- 1%。
AFC 500 質(zhì)量流量控制器的可用范圍為 10 至 50,000 sccm（相當(dāng)于 N2）
AFC 500 質(zhì)量流量控制器可與互補的 ATOVAC 設(shè)備（GMC1200、GMC220、GMC300D、GMC50 型）連接，以顯示相關(guān)信息并提供功率和設(shè)定點命令
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特點與優(yōu)勢
■?滿量程流量范圍為 10 sccm 至 50 slm，可實現(xiàn)精確且可重復(fù)的流量測量和控制
■?模擬配置的滿量程精度百分比
■?數(shù)字配置的讀數(shù)準確度百分比。
■?快速預(yù)熱時間可最大限度地減少昂貴的生產(chǎn)停機時間
■?符合CE 標志
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產(chǎn)品
方面
規(guī)格
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全量程（N2 等效）
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10 SCCM ~ 50 SLM |
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最大入口壓力
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150 磅/平方英寸
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正常工作壓差
（MFC出口處的大氣壓力）
10至5000標準立方厘米
10000 至 20000 標準立方厘米
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10 至 40 psid
15 至 40 psid
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控制范圍
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滿量程的 2% 至 100%?
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準確度（模擬）
（包括非線性、遲滯、
和不可重復(fù)性（參考 760mmHg 和 0°c）
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滿量程的±1.0%
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重復(fù)性
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滿量程的±0.2%
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解決
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滿量程的1.0%?
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溫度系數(shù)
零
跨度
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< FS 的 0.05%/°C
<滿量程的 0.05%
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預(yù)熱時間（達到穩(wěn)態(tài)性能 FS 的 0.2% 以內(nèi)）
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< 2 分鐘
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控制器穩(wěn)定時間
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< 2 秒
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壓力系數(shù)
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< 讀數(shù)/psi 的 0.02 %
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正常工作溫度范圍
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0°C 至 50°C?
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所需輸入電壓
最大限度。啟動時的電流（前 2 秒）
平靜狀態(tài)下的典型電流
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±15 VDC（±5%?）@200 mA
+15 ~ 24 VDC(?±5%?) @ 300 mA (選項)
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設(shè)定點命令信號
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0 至 5 VDC??（選項 4~20 mA）
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輸出信號
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0 至 5 VDC??（選項 4~20 mA）
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連接器類型 模擬
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9 針“D”型?
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| ?遠程模式 |
RS485、RS232? |
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接液材料
標準 可選
（密封件和閥座）
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 +86 138-6184-0733
 無錫市錫山區(qū)安鎮(zhèn)街道山河路50號浙大網(wǎng)新科創(chuàng)園41-2102
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