美國MKS射頻發(fā)生器規(guī)格（MKS射頻發(fā)生器產(chǎn)品概述）

MKS成立于1961。MKS的電源、測量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)，改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率，提高了產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。MKS產(chǎn)品起源于MKS的壓力和流量測量與控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成份分析、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。下面是我們?yōu)閺V大客戶帶來的美國MKS射頻發(fā)生器規(guī)格（MKS射頻發(fā)生器產(chǎn)品概述）產(chǎn)品介紹內(nèi)容，我們將為大家介紹美國MKS射頻發(fā)生器的不同特點，希望能為您了解射頻發(fā)生器產(chǎn)品帶來一些幫助。
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一、MKS射頻發(fā)生器產(chǎn)品概述
MKS射頻功率發(fā)生器為薄膜加工設(shè)備提供可靠的固態(tài)電源。它們是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的重要組成部分，用于生產(chǎn)現(xiàn)代計算機和電子設(shè)備所需的集成電路(IC)或芯片。MKS射頻發(fā)生器與他們的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)和V/I探頭相結(jié)合，形成了一個完整的射頻傳輸系統(tǒng)。Elite™系列射頻等離子體發(fā)生器在緊湊的風(fēng)冷封裝中提供了最先進的技術(shù)。Elite采用高速閉環(huán)控制、E級射頻甲板和開關(guān)調(diào)制器設(shè)計，可實現(xiàn)卓越的輸出性能。精英設(shè)計采用單個印刷電路板組件來實現(xiàn)全機架產(chǎn)品，幾乎消除了所有內(nèi)部電線和連接器，從而提供了最高的可靠性。

二、美國MKS射頻發(fā)生器特點
①風(fēng)冷可降低設(shè)施成本-不需要連接到工廠冷卻回路
②高效率設(shè)計，DC至RF效率大于85%，功耗低
③緊湊的半機架外殼可直接安裝工具
④集成單板設(shè)計消除了電纜和連接器
⑤動態(tài)頻率調(diào)諧減少等離子體穩(wěn)定時間
⑥開-關(guān)、電平到電平和脈沖整形，以實現(xiàn)最大的工藝靈活性
⑦脈沖能量控制可實現(xiàn)過程重復(fù)性
⑧多頻應(yīng)用中脈沖控制的脈沖同步
⑨高達50 KHz的脈沖頻率，可滿足高級工藝要求

三、美國MKS射頻發(fā)生器規(guī)格

①頻率：13.56兆赫
②準確性：±0.005%
③負載阻抗范圍：200-750 W，取決于型號
④諧波輸出和失真：-20至-30 dBc
⑤諧波輸出：-30分貝
⑥輸入交流電源：單相，110VAC-253VAC，50Hz/60Hz
⑦射頻連接器：N型
⑧遠程數(shù)字接口：RS-232通過DB9F
⑨模擬接口：25針DB25F
⑩冷卻：風(fēng)冷
?工作溫度：5-40°C
?設(shè)定點響應(yīng)時間：小于10ms（模擬）
?開關(guān);電源開關(guān)：前面板開關(guān)
?交流輸入連接器：符合IEC標準的入口

四、美國MKS射頻發(fā)生器優(yōu)勢
（1）低擁有成本
①風(fēng)冷可降低設(shè)施成本
②高效率設(shè)計，DC至RF效率大于85%，功耗低
③寬輸入范圍允許在全球范圍內(nèi)安裝，無需特殊變壓器

（2）易于安裝
①空氣冷卻不需要連接到工廠冷卻回路
②緊湊的半機架外殼可直接安裝工具
③標準IEC輸入連接器無需特殊線束
④單相寬交流輸入范圍可輕松安裝在具有不同交流線路電壓的全球市場中
⑤帶保險絲，適用于單相或兩相系統(tǒng)

（3）卓越的可靠性
①集成單板設(shè)計消除了電纜和連接器
②獲得專利的感應(yīng)鉗技術(shù)可保護發(fā)生器免受最不利的VSWR負載條件和等離子體波動的影響

（4）增加價值
①基于現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)的控制可實現(xiàn)快速控制環(huán)路和發(fā)電機負載瞬變保護
②通用勵磁機(CEX)允許主從操作并與其他發(fā)電機同步
③可選的LCD顯示屏和6按鈕多功能鍵盤允許從前面板進行本地操作